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壓電Z軸平臺

我們提供的 45 系列垂直升降臺可在厘米級范圍內(nèi)以納米級精度移動,承載重量可達(dá) 1 kg,靜止時可自鎖。此款升降平臺配備了集成定位傳感器,旨在提供快速簡便設(shè)置所需的精度、負(fù)載能力和易用性。
45 系列垂直升降臺的特點為平整、占用空間小,僅為 45 × 45 mm,垂直方向的行程為 10 mm,可提供 5 N 或 10 N 的上升力。
模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng),提供平穩(wěn)的連續(xù)運動、快速的步進(jìn)和穩(wěn)定時間以及靜止時自鎖功能。
產(chǎn)品選型
型號 圖片
行程 (Z) mm
分辨率 nm
較小可移動增量 nm
雙向重復(fù)性 nm (typ. @ ± 5 mm travel)
偏擺 Pitch
偏擺 Yaw
推力/拉力 N
真空兼容性
ELEV-5N
10
2
2
± 100
± 150
± 150
5  (min.)
-
ELEVHV-5N
10
2
2
± 100
± 150
± 150
5  (min.)
10-6 mbar
ELEV-10N
10
2
2
± 100
± 150
± 150
10  (min.)
-
ELEVHV-10N
10
2
2
± 100
± 150
± 150
10  (min.)
10-6 mbar
XVP
10
1250
312
78
5
1250
312
80
50
2500
700
160
100
140
60
30
10-6 mbar
10-9 mbar

產(chǎn)品中心

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