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壓電偏擺臺(tái)

微型壓電偏擺臺(tái)可沿 Z 軸、X 軸和 Y 軸以納米級(jí)精度移動(dòng)重達(dá) 2.5 kg? 的負(fù)載。

模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容，可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間，并帶有靜止自鎖功能。

產(chǎn)品選型
型號(hào) 圖片
行程 (Z) mm
行程 θ (XY) °
較小可移動(dòng)增量 (Z) nm
較小可移動(dòng)增量 θ (XY) μrad
重復(fù)定位精度 (Z) nm
重復(fù)定位精度 θ (XY) μrad
大推力/拉力 N
ZTT-15N 
± 10
 
± 9
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(Z) 15 N (至少)
ZTTHV-15N 
± 10
 
± 9
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(Z) 15 N (至少)
ZTT-30N 
± 10
 
± 9
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(Z) 30 N
ZTTHV-30N 
± 10
 
± 9
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(Z) 30 N

產(chǎn)品中心

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