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ELEVHV-10N

真空納米分辨率垂直運(yùn)動平臺

行程（Z）：10 mm

分辨率：2 nm

較小可移動增量：2 nm

雙向重復(fù)性：± 100 nm （典型值@ 全行程）

推力/拉力：10 N （至少）

鎖止力（電源關(guān)閉時）：11 N（小）

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
我們提供的 45 系列壓電 Z 軸平臺有標(biāo)準(zhǔn)版和高真空版兩種。均采用平頂設(shè)計，占用空間僅為 45 × 45 毫米，垂直方向的行程為 10 毫米，并提供 10 N 的推力。
微型真空壓電 Z 軸平臺為低至 10-4 Pa 的高真空環(huán)境而設(shè)計。每個平臺都配有真空端電纜（PTFE 涂層電線，編織金屬套管），末端為 DB9 母頭。 每個平臺還配有空氣端 DB9 母頭轉(zhuǎn) ix-Industrial 接口的線纜。將真空端和空氣端線纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開始使用！
模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運(yùn)動、快速的步進(jìn)和整定時間以及靜止時自鎖功能。
特性
● 行程（Z）：10 mm
● 分辨率：2 nm
● 較小可移動增量：2 nm
● 雙向重復(fù)性：± 100 nm （典型值@ 全行程）
● 推力/拉力：10 N （至少）
● 鎖止力（電源關(guān)閉時）：11 N（?。?/span>
產(chǎn)品參數(shù)
型號 ELEVHV-5N
定位  
 行程（Z） 10 mm
 定位傳感器 光柵編碼器
 分辨率 2 nm
 較小運(yùn)動增量 2 nm
 雙向重復(fù)定位精度 ± 100 nm（典型值 @ 全行程）
 直線度和平面度 ± 2 µm（典型值）
 偏擺 Pitch ± 150 µrad（典型值）
 偏擺 Yaw ± 150 µrad（典型值）
運(yùn)動性能  
 較大推力/拉力 10 N（至少）
 鎖止力（電源關(guān)閉時） 11 N（?。?
 較大速度（空載時） 8 mm/s
 較大速度（大作用力時） 1 mm/s（?。?
驅(qū)動類型  
 電機(jī)驅(qū)動 壓電驅(qū)動
機(jī)械性能  
 較大負(fù)載 1 kg
 鉸鏈模式 交叉滾柱軸承
 尺寸 45 × 45 × 38 mm
 重量（不包含電纜&連接器） 160 g（± 10 %）
其他  
 真空端電纜 0.5 m 電纜 （± 5%）帶 f. DB9 連接器
 空氣端電纜 2 m 電纜 （± 5%）帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器
 材質(zhì) 鋁

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號 行程 (Z) mm 分辨率 nm 較小可移動增量 nm 雙向重復(fù)性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) 偏擺 Pitch 偏擺 Yaw 推力/拉力 N 真空兼容性
ELEVHV-10N 
10
 
2
 
2
 
± 100
 
± 150
 
± 150
 
10  (min.)
 
10-6 mbar
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STEP Elevation

219.78KB

2025-10-14

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