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ELEV-5N

納米分辨率垂直運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

行程（Z）：10 mm

分辨率：2 nm

較小可移動(dòng)增量：2 nm

雙向重復(fù)性：± 100 nm （典型值 @ ± 5 mm 行程）

推力/拉力：5 N （至少）

鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)）：6 N（小）

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
我們提供的 45 系列垂直升降臺(tái)特點(diǎn)為平整、占用空間僅為 45 × 45 毫米，垂直方向的行程為 10 毫米，可提供 5 N 的推力。
模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間以及靜止時(shí)自鎖功能。
此款微型壓電 Z 軸平臺(tái)可垂直升降高達(dá) 1 公斤的重量，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)連續(xù)，靜止時(shí)可自鎖。
平臺(tái)可通過控制器和軟件來輕松控制，C++ DLLs 方便軟件二次開發(fā)。
特性
● 行程（Z）：10 mm
● 分辨率：2 nm
● 較小可移動(dòng)增量：2 nm
● 雙向重復(fù)性：± 100 nm （典型值 @ ± 5 mm 行程）
● 推力/拉力：5 N（至少）
● 鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)）：6 N（?。?/span>
產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) ELEV-5N
定位  
 行程（Z） 10 mm
 定位傳感器 光柵編碼器
 分辨率 2 nm
 較小運(yùn)動(dòng)增量 2 nm
 雙向重復(fù)定位精度 ± 100 nm（典型值 @ ± 5 mm 行程）
 直線度和平面度 ± 2 µm（典型值）
 偏擺 Pitch ± 150 µrad（典型值）
 偏擺 Yaw ± 150 µrad（典型值）
運(yùn)動(dòng)性能  
 較大推力/拉力 5 N（至少）
 鎖止力（電源關(guān)閉時(shí)） 6 N（?。?
 較大速度（空載時(shí)） 8 mm/s
 較大速度（大作用力時(shí)） 5 mm/s（?。?
驅(qū)動(dòng)類型  
 電機(jī)驅(qū)動(dòng) 壓電驅(qū)動(dòng)
機(jī)械性能  
 較大負(fù)載 0.5 kg
 鉸鏈模式 交叉滾柱軸承
 尺寸 45 × 45 × 38 mm
 重量（不包含電纜&連接器） 160 g（± 10 %）
其他  
 線纜 2 m 線纜（± 5 %）ix Industrial 連接器
 材質(zhì) 鋁

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 行程 (Z) mm 分辨率 nm 較小可移動(dòng)增量 nm 雙向重復(fù)性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) 偏擺 Pitch 偏擺 Yaw 推力/拉力 N 真空兼容性
ELEV-5N 
10
 
2
 
2
 
± 100
 
± 150
 
± 150
 
5  (min.)
 
-
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產(chǎn)品資料

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219.78KB

2025-10-14

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