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壓電定位3軸平臺

閉環(huán)壓電促動平臺。標(biāo)準(zhǔn)平臺提供不同的材質(zhì)，主要包含了超級殷瓦合金，不銹鋼，鈦合金，鋁合金。適合在真空，強(qiáng)輻射，高溫的環(huán)境中工作。同時我們也提供客戶定制型號。

我們可以提供線性平臺，偏轉(zhuǎn)臺用來構(gòu)建單軸或者多軸系統(tǒng)，使用高性能壓電控制器，電容位置反饋獲得完整的閉環(huán)控制系統(tǒng)。當(dāng)使用數(shù)字控制器時，支持即插即用功能。

產(chǎn)品選型
型號 圖片
方向
材料
行程 μm
負(fù)載 kg
線性誤差 %
重復(fù)定位精度 nm
NPS-XYZ-100D-20H 
XYZ
 
鋁（鍍鎳）
 
100 × 100 × 20
 
0.5
 
0.005
 
0.5
NPS-XYP-250Q 
X，Y軸，Yaw
 
鋁（主體）、不銹鋼和鈦合金結(jié)構(gòu)
 
X、Y 軸 – 250 μm
Yaw – 250 μrad
 
>10
 
NA.
 
NA.
SP-XYZ-400/600 
XYZ
 
鋁（不銹鋼）
 
400/600 閉環(huán)
 
0.6（X）
1.0（Y）
 
0.05
 
3(X)
3(Y)
5(Z)

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