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NPS-XYP-250Q

三軸壓電驅(qū)動平臺

行程：X、Y 軸 – 250 μm，Yaw – 250 μrad

高真空兼容 (10?? Torr)

工作溫度可達(dá) 50 °C

孔徑：350 mm

負(fù)載能力：>10 kg

材質(zhì)：鋁（主體）、不銹鋼和鈦合金結(jié)構(gòu)

重量：31.5 kg

尺寸：600 × 600 × 60 mm

穩(wěn)定性：60 秒內(nèi) <1.5 nm (rms)

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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相關(guān)附件

產(chǎn)品描述
300 毫米掩膜定位臺
NPS-XYP-250Q 納米定位平臺可在 300 毫米制造工藝中實(shí)現(xiàn)高精度、高穩(wěn)定性的掩模定位。
該平臺在 X 軸和 Y 軸方向上的移動范圍為 250 微米，偏航角（φ/θz）的旋轉(zhuǎn)范圍為 250 微弧度。其 350 毫米的大孔徑和超過 10 千克的負(fù)載能力使其能夠滿足光掩模生產(chǎn)和晶圓制造（包括氣相沉積系統(tǒng)）中的各種掩模應(yīng)用的需求。
該平臺可承受高真空和高溫環(huán)境，使其適用于光掩模生產(chǎn)和晶圓制造（包括氣相沉積系統(tǒng)）中的各種掩模應(yīng)用。
特性
● 行程：X、Y 軸 – 250 µm，Yaw – 250 µrad
● 高真空兼容 (10?? Torr)
● 工作溫度可達(dá) 50 °C
● 孔徑：350 mm
● 負(fù)載能力：>10 kg
● 材質(zhì)：鋁（主體）、不銹鋼和鈦合金結(jié)構(gòu)
● 重量：31.5 kg
● 尺寸：600 × 600 × 60 mm
● 穩(wěn)定性：60 秒內(nèi) <1.5 nm (rms)
推薦控制器
●  QGNPC-D-600 系列
 
 
 
 
 
 
 
產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
NPS-XYP-250Q 
X，Y軸，Yaw
 
鋁（主體）、不銹鋼和鈦合金結(jié)構(gòu)
 
X、Y 軸 – 250 μm
Yaw – 250 μrad
 
>10
 
NA.
 
NA.
資料下載

產(chǎn)品資料

NPS-XYP-250Q-EN-Datasheet

282.76KB

2026-05-15

下載

軟件以及二次開發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

下載
Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
相關(guān)附件

產(chǎn)品中心

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