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NPS-X-28C

納米定位臺(tái)

＞28 μm行程，亞納米級(jí)分辨率

一階諧振頻率＞4.5 KHz

帶寬高達(dá) 2 KHz

原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

生產(chǎn)測(cè)試穩(wěn)健可靠

即插即用設(shè)備，停機(jī)時(shí)間短

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
NPS-X-28C 最初是為高速、超精密磁阻磁頭和磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器檢測(cè)而開(kāi)發(fā)的。它的小尺寸和毫秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間非常適合用于要求高可靠性和通量的應(yīng)用。低運(yùn)動(dòng)質(zhì)量和高剛性的結(jié)合可提供較高的帶寬。
電容式傳感器設(shè)計(jì)能夠在超過(guò) 28 微米的范圍內(nèi)提供亞納米級(jí)位移測(cè)量和閉環(huán)反饋。柔性鉸鏈導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)高純度的運(yùn)動(dòng)。使用的數(shù)字閉環(huán)控制器，NPS-X-28C 可實(shí)現(xiàn)毫秒級(jí)的響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間。
特性
● ＞28 μm 行程，亞納米級(jí)分辨率
● 一階諧振頻率 ＞4.5 KHz
● 帶寬高達(dá) 2 KHz
● 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
● 生產(chǎn)測(cè)試穩(wěn)健可靠
● 即插即用設(shè)備，停機(jī)時(shí)間短
應(yīng)用
● 磁阻磁頭和磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)器檢測(cè)
● 干涉測(cè)量
● 計(jì)量
● AFM Z 軸
推薦控制器
NPC-D-5200 或 NPC-D-6330 系列控制器為控制納米精密裝置而設(shè)計(jì)。它們使用現(xiàn)代 DSP 技術(shù)并結(jié)合了壓電驅(qū)動(dòng)放大器、電容位置傳感電路和伺服控制能力。PID（比例、積分、微分）反饋算法的使用大大優(yōu)化了穩(wěn)定時(shí)間并較大限度的降低了機(jī)械共振的影響。軟件可幫助用戶(hù)控制大多數(shù)運(yùn)行參數(shù)，包括 PID 環(huán)路構(gòu)建。
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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線(xiàn)性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
NPS-X-28C 
X
 
鈦合金
 
28
 
10
 
NA.
 
NA.
資料下載

產(chǎn)品資料

軟件以及二次開(kāi)發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

下載
Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
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