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WP-Z-120B

晶圓定位器

120 μm 加長行程

200 mm 直徑晶圓

高負(fù)載版本可以提高到 14 kg

和 H112 電動(dòng)平臺(tái)兼容的轉(zhuǎn)接口

真空環(huán)境版本用于真空腔中的電子顯微鏡

超高真空以及真空-輻射環(huán)境使用 Kapton 電纜

帶偏擺功能的 Z 軸可以用于水平調(diào)整以及掃描

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
WP-Z-120B 晶圓定位系統(tǒng) ms 級(jí)的響應(yīng)時(shí)間以及高帶寬是高速、高通量應(yīng)用的理想。平臺(tái)可以裝載 12 寸，300 mm 的晶圓，負(fù)載 8 kg 的晶圓卡盤，在這個(gè)基礎(chǔ)上提供卓越的定位性能。
平臺(tái)內(nèi)置電容位置傳感器，可以獲得納米級(jí)別的位移傳感，為平臺(tái)移動(dòng)提供閉環(huán)控制。柔性鉸鏈確保在平臺(tái) 120 μm 的行程范圍內(nèi)，提供無摩擦的穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)。通過 QG 獨(dú)有的數(shù)字閉環(huán)控制器，可以使平臺(tái)快速響應(yīng)且比較短的整定時(shí)間。
特性
● 120 μm?加長行程
● 200 mm 直徑晶圓
● 高負(fù)載版本可以提高到 14 kg
● 和 H112?電動(dòng)平臺(tái)兼容的轉(zhuǎn)接口
● 真空環(huán)境版本用于真空腔中的電子顯微鏡
● 超高真空以及真空-輻射環(huán)境使用?Kapton?電纜
● 帶偏擺功能的 Z 軸可以用于水平調(diào)整以及掃描
應(yīng)用
● 玻片以及掩膜檢測
● SEM/TEM 電子顯微鏡
● 干涉測量以及計(jì)量學(xué)
● 顯微鏡應(yīng)用
● 材料檢測
● 鏡面定位
?
推薦控制器
● NPC-D-6000?系列
?
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?
產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
WP-Z-120B 
Z，θ（XY）
 
不銹鋼
 
Z 軸120 μm
θ (XY)± 50 urad
 
14
 
0.1
 
5.5
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產(chǎn)品資料

軟件以及二次開發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

下載
Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
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