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NPS-X-60D

大負(fù)載納米定位平臺(tái)

行程可達(dá) 60 μm

負(fù)載能力高達(dá) 10 kg

柔性鉸鏈可實(shí)現(xiàn)高精度

直接式壓電促動(dòng)器實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)

電容傳感器可直接測(cè)量系統(tǒng)的位移量

可選擇不同配置以優(yōu)化不同負(fù)載下的性能

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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相關(guān)附件

產(chǎn)品描述
NPS-X-60D 可以滿足亞納米精度的高速應(yīng)用需求。
大負(fù)載直驅(qū)版本可根據(jù)客戶系統(tǒng)需求，在 X（水平）或 Z（垂直）方向進(jìn)行校準(zhǔn)。針對(duì)不同有效載荷（標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載高達(dá) 6 kg）有不同的校準(zhǔn)參數(shù)可選，進(jìn)行快速步進(jìn)和整定的調(diào)校。
特性
● 行程可達(dá) 60 μm
● 負(fù)載能力高達(dá) 10 kg
● 柔性鉸鏈可實(shí)現(xiàn)高精度
● 直接式壓電促動(dòng)器實(shí)現(xiàn)快速響應(yīng)
● 電容傳感器可直接測(cè)量系統(tǒng)的位移量
● 可選擇不同配置以優(yōu)化不同負(fù)載下的性能
應(yīng)用
● 半導(dǎo)體檢測(cè)中的光學(xué)組件定位
● 顯微鏡物鏡座定位
● 精密制造
推薦控制器
● NPC-D-6000?系列
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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
NPS-X-60D 
X/Z
 
鋁（鍍鎳）
 
60 閉環(huán)
 
水平方向（X）10
垂直方向（X）10
 
0.005
 
0.7
資料下載

產(chǎn)品資料

NPS-X-60D-EN-Datasheet

487.36KB

2026-05-14

下載
NPS-X-60A-INSTALLATION

79.27KB

2026-05-14

下載

軟件以及二次開發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

下載
Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
相關(guān)附件

產(chǎn)品中心

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