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NPS-X-60D

大負載納米定位平臺

行程可達 60 μm

負載能力高達 10 kg

柔性鉸鏈可實現高精度

直接式壓電促動器實現快速響應

電容傳感器可直接測量系統的位移量

可選擇不同配置以優(yōu)化不同負載下的性能

產品描述

產品參數

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相關附件

產品描述
NPS-X-60D 可以滿足亞納米精度的高速應用需求。
大負載直驅版本可根據客戶系統需求，在 X（水平）或 Z（垂直）方向進行校準。針對不同有效載荷（標準負載高達 6 kg）有不同的校準參數可選，進行快速步進和整定的調校。
特性
● 行程可達 60 μm
● 負載能力高達 10 kg
● 柔性鉸鏈可實現高精度
● 直接式壓電促動器實現快速響應
● 電容傳感器可直接測量系統的位移量
● 可選擇不同配置以優(yōu)化不同負載下的性能
應用
● 半導體檢測中的光學組件定位
● 顯微鏡物鏡座定位
● 精密制造
推薦控制器
● NPC-D-6000?系列
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產品參數
參數/型號 方向 材料 行程 μm 負載 kg 線性誤差 % 重復定位精度 nm
NPS-X-60D 
X/Z
 
鋁（鍍鎳）
 
60 閉環(huán)
 
水平方向（X）10
垂直方向（X）10
 
0.005
 
0.7
資料下載

產品資料

NPS-X-60D-EN-Datasheet

487.36KB

2026-05-14

下載
NPS-X-60A-INSTALLATION

79.27KB

2026-05-14

下載

軟件以及二次開發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

下載
Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
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