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PT-HQT75-C20C

行程 20 × 20 mm

亞微米級(jí)分辨率

重復(fù)定位精度 2 μm

體積 100 × 100 × 20 mm

行程 20 × 20 mm（±0.1 mm）

使用 TULA75 驅(qū)動(dòng)

RS232 和 USB 控制

無(wú)電磁干擾

運(yùn)行噪音低且無(wú)振動(dòng)

斷電后自鎖

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述

PT-HQT75-C20C 小型電動(dòng) XY 載物臺(tái)為正置顯微鏡打造，憑借出色的適配特性，既能輕松集成到現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)中，提升系統(tǒng)性能，也可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的平面運(yùn)動(dòng)，適用于材料科學(xué)、半導(dǎo)體檢測(cè)等對(duì)精度和穩(wěn)定性要求高的應(yīng)用場(chǎng)景。底部開(kāi)孔大小 60 × 60 mm，該平臺(tái)使用 TULA75 作為驅(qū)動(dòng)裝置，同時(shí)滿(mǎn)足了高速定位與納米級(jí)定位的需求。

一、超聲波壓電與粘滑效應(yīng)驅(qū)動(dòng)

采用 TULA 直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，無(wú)電磁干擾，運(yùn)行噪音低且無(wú)振動(dòng)。電機(jī)具備自鎖定功能，斷電后仍能保持位置，確保系統(tǒng)安全。低發(fā)熱設(shè)計(jì)，保障長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。

二、高精度

閉環(huán)位置控制確保納米級(jí)定位精度，分辨率可達(dá) 100 nm。速度可達(dá) 10 mm/s，支持快速點(diǎn)到點(diǎn)移動(dòng)。雙向重復(fù)定位精度 ±2 μm，穩(wěn)定性?xún)?yōu)異。

三、長(zhǎng)壽命與高可靠性

壽命超過(guò) 100 萬(wàn)次循環(huán)。負(fù)載能力 400 g，適用于多種實(shí)驗(yàn)配置。

四、安裝靈活性

體積小便于安裝集成環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)：工作溫度 -20°C 至 +70°C，濕度 ≤ 70% RH（非冷凝）。

五、應(yīng)用領(lǐng)域

● 顯微鏡與成像技術(shù)

● 納米加工與檢測(cè)

● 生物醫(yī)學(xué)研究

● 半導(dǎo)體制造與檢測(cè)

● 光學(xué)儀器校準(zhǔn)

產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)/型號(hào)	行程 mm	重復(fù)精度 μm	分辨率 μm	速度 mm/s	負(fù)載 kg	編碼器精度 μm	螺距 mm
PT-HQT75-C20C	20 × 20	2	0.1	10	0.4	0.1	Na