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NPS-Z-15A

低漂移 15 微米載物臺

行程大于 15μm,分辨率達亞納米級

典型值:滯后誤差小于 0.005%,線性誤差小于 0.01%

第一諧振頻率典型值大于 3.5kHz

高帶寬(大于 300Hz)和快速響應時間

原位掃描和步進響應優(yōu)化

堅固可靠

超殷鋼結構

產品描述

產品參數(shù)

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產品描述
NPS-Z-15A 是一款壓電掃描式柔性導軌平臺,集成電容式位置傳感器。它具備亞納米級分辨率和重復性。
該平臺的設計使其與運動軸線的夾角較?。环浅_m合用于掃描探針顯微鏡探針以及其他對橫向運動要求較高的應用。
?特性
● 行程大于 15μm,分辨率達亞納米級
● 典型值:滯后誤差小于 0.005%,線性誤差小于 0.01%
● 第一諧振頻率典型值大于 3.5kHz
● 高帶寬(大于 300Hz)和快速響應時間
● 原位掃描和步進響應優(yōu)化
● 堅固可靠
● 超殷鋼結構
應用
● 掃描探針顯微鏡
● 近場掃描光學顯微鏡(NSOM)
● 原子力顯微鏡
● 精密工程
● 干涉測量
● 計量學
推薦控制器
● NPC-D-5200 數(shù)字控制器
● NPC-D-6000 系列
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產品參數(shù)
參數(shù)/型號 方向 材料 行程 μm 負載 kg 線性誤差 % 重復定位精度 nm
NPS-Z-15A
Z
超殷瓦合金(亮鍍鎳)
8
0.2
<0.01
NA.
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產品資料

NPS-Z-15A_EN_Datasheet

258.27KB

2026-04-10

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