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HEX1HV-15N

真空壓電6軸平臺(tái)

行程 (XYZ)：± 10 mm

行程 θ (XYZ)：± 10°

較小可移動(dòng)增量 (XYZ)：2 nm

較小可移動(dòng)增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 μrad

重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm

重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 μrad

大推力/拉力：(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
HEX1HV 真空壓電 6 軸平臺(tái)既可沿著也可圍繞 X、Y 和 Z 軸以納米級(jí)精度移動(dòng)重達(dá) 2.5 kg 的負(fù)載。
這款平臺(tái)為低至 10-4 Pa 的高真空環(huán)境而設(shè)計(jì)，每個(gè)平臺(tái)都配有一根真空線纜（編織金屬套管包裹的 PTFE 涂層電線），末端為 DB9 母頭。
此外每個(gè)平臺(tái)還配有空氣端母頭 DB9 轉(zhuǎn) ix Industrial 接口的線纜。將真空端和空氣端線纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開始使用了！
模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品都互相兼容，并且可以輕松地組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運(yùn)動(dòng)、快速的步進(jìn)和整定時(shí)間及靜止時(shí)自鎖功能。
特性
● 行程 (XYZ)：± 10 mm
● 行程 θ (XYZ)：± 10°
● 較小可移動(dòng)增量 (XYZ)：2 nm
● 較小可移動(dòng)增量 θ (XYZ)：＜ 0.1 µrad
● 重復(fù)定位精度 (XYZ)：± 200 nm
● 重復(fù)定位精度 θ (XYZ)：± 15 µrad
● 大推力/拉力：(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N
產(chǎn)品參數(shù)
型號(hào) HEX1HV-15N
定位  
 行程 (XYZ) ± 10 mm
 行程 θ (XYZ) ± 10 °
 較小運(yùn)動(dòng)增量 (XYZ) 2 nm
 較小運(yùn)動(dòng)增量 θ (XYZ) ＜ 0.1 µrad
 重復(fù)定位精度 (XYZ) ± 200 nm
 重復(fù)定位精度 θ (XYZ) ± 15 µrad
運(yùn)動(dòng)性能  
 大推力/拉力 (X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N
 鎖止力 (電源關(guān)閉時(shí)) (X) 12 N / (Y) 10 N / (Z) 18 N
 空載時(shí)的大速度(XY) 8 mm/s
 大負(fù)載時(shí)的速度 (Z)  ＞ 5 mm/s
驅(qū)動(dòng)類型  
 基本模塊 PRECIBEO GO LLS4545 平臺(tái)
機(jī)械性能  
 頂部負(fù)載 1 kg
 直徑 220 mm
 高度 85 — 105 mm
其他  
 真空端線纜 6 根 1 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 連接器
 空氣端線纜 6 根 2 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器
 材質(zhì) 鋁

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 行程 (XYZ) 行程 θ (XYZ) 較小運(yùn)動(dòng)增量 (XYZ) 較小運(yùn)動(dòng)增量 θ (XYZ) 重復(fù)定位精度 (XYZ) 重復(fù)定位精度 θ (XYZ) 大推力/拉力
HEX1HV-15N 
± 10
 
± 10
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(X) 10 N / (Y) 8 N / (Z) 15 N
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產(chǎn)品資料

3D模型文件

STEP GO HexStage 1

1.08MB

2025-12-15

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