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XYRHV-16N

微型真空壓電XYR平臺

行程（XY）：± 10 mm

行程 θ（Z）：± 10 °

較小可移動增量 (XY)：2 nm

較小可移動增量 θ (Z)：＜ 0.1 μrad

重復性 (XY)：± 200 nm

重復性 θ (Z)：± 15 μrad

推力/拉力：(X) 20 N /(Y) 16 N (至少)

鎖止力（電源關閉時）：(X) 24 N /(Y) 20 N

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
微型真空壓電 XYR HV 平臺可在低至 10 — 4 Pa 的真空環(huán)境下，沿 X 軸、Y 軸以及圍繞 Z 軸以納米級精度移動高達 10 kg 的負載。此系列包含標準版和高真空版兩個版本。
微型真空壓電 XYR HV 平臺為低至 100 — 4 Pa 的高真空環(huán)境而設計。每個平臺均配備真空端線纜（PTFE 涂層電線，編織金屬套管），末端為 DB9 母頭。
此外每個平臺還配有空氣端母頭 DB9 轉(zhuǎn) ix-Industrial 接口的線纜。將真空端和空氣端線纜連接到 DB9 饋通接口，將空氣端的 ix-Industrial 連接器連接到控制器，即可開始使用了！
模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容且可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平穩(wěn)的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間以及靜止時自鎖功能。
特性
● 行程 (XY)：± 10 mm
● 行程 θ (Z)：± 10 °
● 較小可移動增量 (XY)：2 nm
● 較小可移動增量 θ (Z)：＜ 0.1 µrad
● 重復性 (XY)：± 200 nm
● 重復性 θ (Z)：± 15 µrad
● 推力/拉力：(X) 20 N / (Y) 16 N (至少)
● 鎖止力（電源關閉時）：(X) 24 N / (Y) 20 N
產(chǎn)品參數(shù)
型號 XYRHV-16N
定位  
 行程（XY） ± 10 mm
 行程 θ（Z） ± 10 °
 較小運動增量 (XY) 2 nm
 較小運動增量 θ (Z) ＜ 0.1 µrad
 重復性 (XY) ± 200 nm
 重復性 θ (Z) ± 15 µrad
運動性能  
 推力/拉力 (X) 20 N / (Y) 16 N (至少)
 鎖止力（電源關閉時） (X) 24 N / (Y) 20 N
 空載時的大速度(XY) 8 mm/s
 大推力/拉力時的大速度  ＞ 1 mm/s
驅(qū)動類型  
 基本模塊 PRECIBEO GO LS4545 線性平臺
機械性能  
 頂部負載 10 kg
 直徑 165 mm
 高度 73.5 mm
其他  
 真空端線纜 3 根 1 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器
 空氣端線纜 3 根 2 m 線纜 (± 5 %) 帶 f. DB9 和 ix Industrial 連接器
 材質(zhì) 陽極氧化鋁

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號 行程（XY）mm 行程 θ （Z））° 較小可移動增量（XY）nm 較小可移動增量 θ（Z）μrad 重復定位精度（XY）nm 重復定位精度 θ （Z）μrad 推力/拉力 N
XYR-16N 
± 10
 
± 10
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(X) 20 / (Y) 16
資料下載

產(chǎn)品資料

Technical Drawing GO XYR HV

326.55KB

2025-10-13

下載
STEP GO XYR HV

1.20MB

2025-10-14

下載

3D模型文件

STEP GO XYR HV

1.20MB

2025-10-31

下載

產(chǎn)品中心

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