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網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 顯微鏡電動(dòng)模塊 > 正置顯微鏡電動(dòng)XY平臺(tái) > XWS

XWS

行程 130 × 100 mm

采用 Crossfixx 超聲波壓電技術(shù)

可配備 50 nm 編碼器，分辨率可達(dá) 50 nm

速度可達(dá) 250 mm/s

壽命超過(guò) 1000 km 或 2000 萬(wàn)次循環(huán)

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
核心優(yōu)勢(shì)
XWS 系列 XY 壓電平臺(tái)是一款集成式高精度定位系統(tǒng)，采用超聲波壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)，專(zhuān)為納米級(jí)精度運(yùn)動(dòng)控制設(shè)計(jì)。該平臺(tái)結(jié)合了高速定位與納米級(jí)精度，可在 130 × 100 mm 范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的平面運(yùn)動(dòng)，適用于顯微鏡、材料科學(xué)、半導(dǎo)體檢測(cè)等對(duì)精度和穩(wěn)定性要求較高的應(yīng)用場(chǎng)景。
一、超聲波壓電驅(qū)動(dòng)技術(shù)
采用 Crossfixx?超聲波壓電技術(shù)，無(wú)電磁干擾，運(yùn)行噪音低且無(wú)振動(dòng)。
電機(jī)具備自鎖定功能，斷電后仍能保持位置，確保系統(tǒng)安全。
低發(fā)熱設(shè)計(jì)，保障長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行。
二、高精度與高速度
閉環(huán)位置控制確保納米級(jí)定位精度，分辨率可達(dá) 50 nm（根據(jù)型號(hào)不同）。
速度可達(dá) 250 mm/s，支持快速點(diǎn)到點(diǎn)移動(dòng)。
雙向重復(fù)定位精度 ±100 nm，穩(wěn)定性優(yōu)異。?
三、長(zhǎng)壽命與高可靠性
精密直線循環(huán)滾子軸承，壽命超過(guò) 1000 km 或 2000 萬(wàn)次循環(huán)。
被動(dòng)保持剛度高達(dá) 1 N/μm，抗外界干擾能力強(qiáng)。
負(fù)載能力 3 kg，適用于多種實(shí)驗(yàn)配置。
四、靈活適配性
提供多種載物臺(tái)插件：標(biāo)準(zhǔn) M6 面包板、空白插件、多孔板適配器等，支持定制化需求。
環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)：工作溫度 +10°C 至 +40°C，濕度 ≤ 75% RH（非冷凝）。
五、應(yīng)用領(lǐng)域
● 顯微鏡與成像技術(shù)
● 納米加工與檢測(cè)
● 生物醫(yī)學(xué)研究
● 半導(dǎo)體制造與檢測(cè)
● 光學(xué)儀器校準(zhǔn)
六、尺寸圖
Crossfixx壓電電機(jī)
● 壓電電機(jī)并非一定速度慢、噪音大且價(jià)格昂貴?；?Crossfixx 技術(shù)的超聲壓電電機(jī)是我們所有運(yùn)動(dòng)產(chǎn)品的核心。
● 它標(biāo)志著運(yùn)動(dòng)控制領(lǐng)域的一項(xiàng)突破，因?yàn)樗婢邏弘娂夹g(shù)的所有優(yōu)勢(shì)，卻沒(méi)有通常與之相關(guān)的缺點(diǎn)。緊湊的Crossfixx?電機(jī)將速度、精度、行程范圍和動(dòng)力與耐用、靜音運(yùn)行相結(jié)合，是目前市面上多種微型電機(jī)的優(yōu)質(zhì)替代品。
基于Crossfixx技術(shù)的電機(jī)基于兩種共振頻率一致的共振模式
● 第一種模式使壓電陶瓷產(chǎn)生均勻的徑向膨脹，其中接觸點(diǎn)垂直于載物臺(tái)振動(dòng)。
● 第二種模式的特點(diǎn)是平面內(nèi)彎曲，接觸點(diǎn)平行于載物臺(tái)振動(dòng)。
● 通過(guò)結(jié)合這兩種模式，電機(jī)的尖端將沿橢圓軌跡運(yùn)動(dòng)。振動(dòng)尖端的位移很小，亞微米量級(jí)，但由于這種橢圓運(yùn)動(dòng)以?166?千赫茲的頻率重復(fù)，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)?1000?毫米?/?秒的速度。

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超聲運(yùn)行的優(yōu)勢(shì)
● 該電機(jī)以?166?千赫茲的頻率共振，遠(yuǎn)高于人耳的聽(tīng)覺(jué)極限。因此，電機(jī)能夠靜音運(yùn)行。
● 166?千赫茲也遠(yuǎn)高于大多數(shù)機(jī)械系統(tǒng)的截止頻率，所以對(duì)周?chē)鷻C(jī)械系統(tǒng)的機(jī)械干擾可以忽略不計(jì)。
● 共振運(yùn)行還將激勵(lì)電壓降低到安全限度。運(yùn)行電壓低至?20?伏是可行的，而對(duì)于要求較高的應(yīng)用，電壓可提高到?48?伏。
固定方式
電機(jī)固定在中心孔處，該中心孔是兩種模式的節(jié)點(diǎn)。這有諸多優(yōu)點(diǎn)：
● 電機(jī)不會(huì)通過(guò)這個(gè)固定點(diǎn)向周?chē)h(huán)境傳遞振動(dòng)
● 固定對(duì)模式和相應(yīng)共振頻率的影響較小
● 對(duì)稱(chēng)固定，減少熱漂移
● 固定方式緊湊

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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 行程 mm 重復(fù)精度 μm 分辨率 μm 速度 mm/s 負(fù)載 kg 編碼器精度 μm 螺距 mm
XWS 
130 × 100
 
1
0.25
0.05
 
1
0.25
0.05
 
250
 
3
 
1
0.25
0.05
 
No
資料下載

產(chǎn)品資料

Xeryon XWS-series v1.2

298.07KB

2026-01-12

下載

使用手冊(cè)

軟件以及二次開(kāi)發(fā)

WSB Flex Move Setup

71.66MB

2026-01-12

下載

3D模型文件

XWS-series

1.10MB

2026-01-12

下載

產(chǎn)品中心

EN