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NPS-X-15B

薄型快速15微米級

>15 微米行程,亞納米級分辨率

一階諧振頻率>3 KHz,4 kHz NPS-X-15D

毫秒級響應(yīng)時(shí)間,50 g 負(fù)載

原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

生產(chǎn)測試穩(wěn)健可靠

即插即用設(shè)備,停機(jī)時(shí)間短

產(chǎn)品描述

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產(chǎn)品描述
NPS-X-15B 薄型快速 15 微米平臺最初是為高速、超精密磁阻磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器檢測而設(shè)計(jì)的。
它的小尺寸和毫秒級響應(yīng)時(shí)間,使其非常適合高可靠性和高通量的應(yīng)用。低運(yùn)動(dòng)質(zhì)量和高剛性的結(jié)合可提供高帶寬。緊湊的內(nèi)置電容式傳感器,能夠在超過 16 微米的位移范圍內(nèi)提供亞納米級閉環(huán)反饋。柔性鉸鏈導(dǎo)向可實(shí)現(xiàn)高純度的運(yùn)動(dòng),將寄生運(yùn)動(dòng)降低至 1 微弧度(典型值)。使用數(shù)字閉環(huán)控制器,NPS-X-15A (不銹鋼)可實(shí)現(xiàn)毫秒級的響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間。
特性
15 微米行程,亞納米級分辨率
一階諧振頻率 >3 KHz4 kHz NPS-X-15D
毫秒級響應(yīng)時(shí)間,50 g 負(fù)載
原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
生產(chǎn)測試穩(wěn)健可靠
即插即用設(shè)備,停機(jī)時(shí)間短
應(yīng)用
磁阻磁頭和磁盤驅(qū)動(dòng)器檢測
干涉測量
計(jì)量
AFM 探針
推薦控制器
NPC-D-5200 數(shù)字控制器
NPC-D-6000 系列
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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
NPS-X-15B
X
鋁合金
15
0.5
0.005
NA.
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